Пьезомоторизованная линейная нанонаправляющая Sb-01

Подробности

Опубликовано 07.09.2015 12:16

Выполнена в соответствии с патентами Украины №26075, №71044, патентом России №2041480, международной заявкой PCT/UA03/00017. Области использования: фотоника, волоконная оптика, метрология, испытательное оборудование, микро/наномашины, биомедицина. Выполнена на основе пьезоэлектрического мотора РM-20R и шариковой стальной направляющей. Управляется с помощью драйвера "RM".

В настоящее время для целей нанопозиционирования используются (PZTs) трансляторы, которые обладают очень существенным недостатком – прежде всего ограниченным диапазоном перемещения 5-200 µm. Альтернативные моторизованные системы на двигателях постоянного тока или шаговых двигателях имеют достаточный диапазон перемещения (10-100 mm), но сравнительно низкое разрешение 0.1µm, что ограничивает их использование в наносистемах. Другим существенным недостатком PZT трансляторов является большой дрейф 1000 …2000 nm/hour @ 20°C, что затрудняет позиционирование в нанодиапазоне.

Нанонаправляющая Sb-01 решила эти проблемы. На основании направляющей Sb-01, Американской компанией DTI (http://www.discovtech.com) разработана серия NTS нанонаправляющих (NTS10, NTS20, NTS100), не имеющих аналогов в мировой практике.

Диапазон перемещения	10мм
Минимальное линейное приращение	< 1 нм
Мертвый ход	< 0,5мкм
Гистерезис	< 0,5мкм
Pitch (θy)/ на 1 mm	< 5 угл. сек
Yaw (θz)/ на 1 mm	< 5 угл. сек
Максимальная скорость	500 мкм/сек
Нормальная нагрузка	3 кг
Шаг приводного винта	500мкм
Дрейф	< 2 нм/час @ 20°C
Размер	115x46x38
Масса	250 г